采用薄膜沉積方式制備的以銅銦鎵硒、碲化鎘、非晶硅以及砷化鎵等材料為吸收層的太陽(yáng)能電池,實(shí)現(xiàn)太陽(yáng)光能轉(zhuǎn)化成電能。森利可提供的靶材包括:i-ZnO,AZO,ZnSnO,MgZnO,ITO,Si,Mo,CuGa以及CuInGa等。
為觸摸屏(TP),液晶顯示器(LCD),有機(jī)發(fā)光二極管顯示器(OLED)以及量子點(diǎn)顯示器(QLED)等提供系列關(guān)鍵靶材:ITO,IZO,IGZO,TiOx,NbOx,Si,Mo,Cu,Al,Ti,Nb,Ag,W等。
在玻璃表面上沉積具有多層膜系的金屬以及金屬氧化物薄膜,實(shí)現(xiàn)對(duì)可見(jiàn)光高透過(guò)及對(duì)中遠(yuǎn)紅外線(xiàn)高反射。森利可提供的靶材包括:AZO,JZOTM,ZnSnO,TIOx,ZrOx,SiAl,ZnSn,ZnAl,NiCr,SiAl,Ag等。
采用諸如聚合物分散液晶(PDLC)以及電致變色(EC)等器件實(shí)現(xiàn)光線(xiàn)的主動(dòng)控制。森利可提供用于上述器件磁控濺射沉積的透明電極層、變色層、鋰離子傳導(dǎo)層以及鋰離子儲(chǔ)存層的靶材材料,包括:AZO,JZOTM,ITO,WO3,NbOx,Si,Li,Li鹽電解質(zhì),W,Mo,Nb,Cr等。
工模具鍍膜可大幅提高刀具、模具與摩擦磨損件的使用性能和壽命。在裝飾鍍膜領(lǐng)域,采用物理鍍膜方式替代傳統(tǒng)高污染的電鍍與化學(xué)鍍已經(jīng)成為新的趨勢(shì)。森利可提供的靶材包括:Cr,Al,Ti,Cu,WTi,TiAl等。
在集成電路制造過(guò)程中,互連線(xiàn)薄膜以及阻擋層薄膜均是采用磁控濺射的方法沉積所得。森利能提供的靶材包括:Al,Ti,Cu,W,Ta等。
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